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Keithley数字源表2600B系列

概述

2600B系列系统数字源表源测量单元(SMU)仪表是业界一流的电流/电压源 与测量解决方案,它是利用吉时利第三代源测量单元(SMU)技术建造的。

2600B 系列产品包括单通道和双通道型号,集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表(DMM)、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案,大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。

对于台式应用,2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件,支持即插即用I/V测试,可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用,2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP),可以运行仪器内存储的完整测试程序,实现业界最佳的吞吐量。

在更大型的多通道应用中,吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作,实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元(SMU)仪表具有不需要主机的、完全隔离的通道,因此,可以根据测试应用需求的进展,很容易进行重新配置和重新部署。

典型应用

各种器件的I-V功能测试和特征分析,包括:

  • 分立和无源元件
    – 两抽头器件——传感器、磁盘驱动器头、金属 氧化物可变电阻(MOV)、二极管、齐纳二极 管、电容、热敏电阻
    – 三抽头器件——小信号双极结型晶体管(BJT)场效应晶体管(FET),等等

  • 简单IC器件——光学器件、驱动器、开关、传感 器、转换器、稳压器

  • 集成器件——小规模集成(SSI)和大规模集成(LSI) – 模拟IC
    – 射频集成电路(RFIC)
    – 专用集成电路(ASIC)
    – 片上系统(SOC)器件

  • 光电器件,例如发光二极管(LED)、激光二极管高亮度LED(HBLED)、垂直腔面发射激光器 (VCSEL)、显示器

  • 圆片级可靠性
    – NBTI、TDDB、HCI、电迁移

  • 太阳能电池

  • 电池

2604B/2614B型仪表的背板
(单通道2601B, 2611B, 2635B没有给出)。

2636B型仪表的背板

在第一和第三象限,2600B系列仪器用作信号源,向负载提供 电源。在第二和第四象限,2600B系列仪器用作信号宿,内部 消耗功率。

2601B、2602B和2604B的I-V测试功能

2611B、2612B和2614B的I-V 测试功能

2634B、2635B和2636B的I-V 测试功能

技术指标

电压测量精度16,17
量程默认显示
分辨率 18
输入电阻精度(1年)
23°C ±5° C
±(% rdg. + 伏特数)
100 mV100 nV>10 GΩ0.015% + 15 0μV
1 V1 μV>10 GΩ0.015% + 20 0 μV
6 V10 μV>10 GΩ0.015% + 1 mV
40 V10 μV>10 GΩ0.015% + 8 mV

温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)19:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。

电流测量精度 17
量程默认显示分辨率 20电压负荷 21精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
100 nA100 fA<1 mV0.05% + 100 pA
1 µA1 pA<1 mV0.025% +500 pA
10 µA10 pA<1 mV0.025% + 1.5 nA
100 µA100 pA<1 mV0.02% + 25 nA
1 mA1 nA<1 mV0.02% + 200 nA
10 mA10 nA<1 mV0.02% + 2.5 µA
100 mA100 nA<1 mV0.02% + 20 µA
1 A1 µA<1 mV0.03% + 1.5 mA
3 A1 µA<1 mV0.05% + 3.5 mA
10 A 2210 µA<1 mV0.4% + 25 mA (典型值)

电流测量稳定时间(在V 之后测量稳定的时间)23: 在固定量程上处理电源设 step 命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout=1V,除非另行说明。电流量程:1mA。 out 时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)24: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用普通模式,不适用于高电容模式。

接触检查25(不适合2604B)
速度60Hz(50Hz)下到
存储器的最大测量时间
精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 欧姆数)
FAST1 (1.2) ms5% + 10Ω
MEDIUM4 (5) ms5% + 1 Ω
SLOW36 (42) ms5% + 0.3Ω
其它仪表技术指标

最大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。
高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
最大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>10GΩ

16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17 .对于NPLC设置<1,要通过增加误差项降低精度指标。根据下表适当 增加量程值的百分比。

NPLC设置100mV
量程
1V–40V
量程
100nA
量程
1µA–100mA
量程
1A–3A
量程
0.10.01%0.01%0.01%0.01%0.01%
0.010.08%0.07%0.1%0.05%0.05%
0.0010.8%0.6%1%0.5%1.1%

18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为100mV或1V量程。
22. 10A量程仅适用于脉冲模式。
23. 柔度等于100mA。
24. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
25. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO的接触电阻


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